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[多选题]

气相沉积过程包括哪几个环节（)。

A.气相物质的产生

B.气相物质的输运

C.气相物质在工件表面沉积形成固态薄膜

D.沉积材料蒸发

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发布时间：2022-07-10

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第1题

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